OLED CLUSTER镀膜设备

有机发光二极管(OLED)技术作为一种新兴显示技术，具有器件轻薄、可视角度大、柔性显示、节省电能等优势，已广泛应用于各个领域。矽碁科技具有丰富的OLED系统集成经验，可根据客户需求，集成各类工艺腔体，为客户量身打造OLED技术开发设备。矽碁提供两种OLED设备架构：

Cluster架构：传输腔体连接各工艺腔体，机械手臂传片，全自动控制，可连续生产

In-line架构：手套箱串接各工艺腔体，手动传片，架构灵活，拓展性强，性价比高

矽碁科技拥有超过10年的OLED Cluster设备制造的经验，同时与学术和工业界都有非常密切的的合作。矽碁科技还与中国台湾多家的OLED研究机构建有合作实验室(明志科技大学，曜凌光电)，长期从事OLED技术研发和技术更新，可与客户进行深度的OLED技术交流及合作。

可选配置：

1 预处理腔体；

2 传输腔体；

3 有机物蒸发镀膜腔体；

4 金属蒸发镀膜腔体；

5 磁控溅射腔体；

6 原子层沉积封装腔体；

7 高分子封装镀膜腔体；

8 Mask/基片存储腔体；

9 机械/CCD对准机构；

10 手套箱集成；

手动传样三腔体OLED Cluster

带ALD封装的三腔体OLED Cluster

标准6边型OLEDCluster

标准全自动OLED Cluster镀膜系统